真空压力计在半导体、镀膜、科研等精密领域中承担着关键监控任务，其工作环境复杂，易受污染、过压、电气干扰等因素影响，导致读数异常、信号中断或设备损坏。掌握
问题二：读数异?；蚱?/div>
多因传感器污染或校准失效：
读数偏高：检查传感器接口是否被油污、粉尘或工艺副产物堵塞，用无水乙醇或专用清洗剂清洁；
读数偏低或为零：确认是否处于超高真空区，电离计需预热；检查皮拉尼计热丝是否烧断；
零点漂移：执行零点校准（在真空泵关闭、系统通大气时进行）；
线性偏差：使用标准压力源进行全量程校准，或送计量机构检定。
问题三：测量值跳动或噪声大
表明信号干扰或接触不良：
检查信号线是否与动力线平行，应分开走线或加金属屏蔽管并单端接地；
确认接线端子是否松动，重新紧固；
检查接地是否可靠，接地电阻应<4Ω；
若为数字通信中断，检查RS485终端电阻是否匹配，Modbus地址与波特率设置是否正确。
问题四：响应迟缓或无反应
可能为传感器损坏或气路堵塞：
检查压力接口至真空腔体的管路是否弯折、堵塞或漏气；
对于电离计，确认灯丝是否点亮，若不亮则更换；
压阻式或电容式传感器若长期暴露于大气或过压，可能已损坏，需更换传感器头。
问题五：过压损坏
真空计严禁承受超过量程的正压或负压：
若系统意外通大气或泵反转，可能导致传感器膜片破裂；
解决方法：立即停机，更换传感器?？椋?/div>
预防：加装压力截止阀或过压?；て鳎乐钩钩寤?。
问题六：继电器误动作或不动作
检查报警阈值设置是否正确；
用万用表测试继电器输出触点是否导通；
若设定值已到但未动作，可能为继电器故障或控制逻辑错误。
更新更新时间：2025-10-09
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